| 摘要 |
Le système d'interféromètre à laser décrit permet de mesurer n'importe quel écart de mouvement d'un composant de machine qui se déplace le long d'un axe de mouvement principal. Ledite système peut mesurer le roulis, le tangage, le mouvement de lacet, la rectilinéarité et le parallélisme de deux pistes au moyen d'un seul faisceau laser. La figure 1 représente un agencement servant à mesurer le roulis d'une colonne de machine verticale (2) pendant le mouvement de la colonne le long de l'axe des x d'une machine. Un miroir droit (6) est placé sur la base d'appui de la machine avec son axe longitudinal aligné sur l'axe des x et sa surface réfléchissante perpendiculaire à l'axe des x. Un composant optique comportant un diviseur optique de faisceau de polarisation est monté de façon à se déplacer avec la colonne de la machine et produit à partir d'un faisceau laser (A) un faisceau de mesure (B) et un faisceau de référence (B2), qui sont tous les deux dirigés sur le miroir mais latéralement séparés dans le sens de l'axe des z. Les faisceaux réfléchis depuis le miroir sont recombinés dans le dispositif optique, de façon à former un faisceau de retour (C) dirigé vers un détecteur adjacent au laser (9). Toute variation de la longueur relative des faisceaux (B1) et (B2) donne une mesure du roulis. On peut mesurer le mouvement de lacet en produisant des faisceaux (B1) et (B2) séparés latéralement dans le sens du mouvement, c'est-à-dire le long de l'axe des x. On mesure la rectilinéarité en utilisant un bras de référence de longueur fixe dans le dispositif optique. On mesure le parallélisme en effectuant des mesures de rectilinéarité des deux colonnes (2) et (2a). On peut mesurer le tangage en produisant quatre faisceaux. |
