| 发明名称 |
METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0236811(A3) |
申请公布日期 |
1990.03.14 |
| 申请号 |
EP19870102343 |
申请日期 |
1987.02.19 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
ITO, TAKAO C/O PATENT DIVISION |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/763;H01L29/732;(IPC1-7):H01L29/70;H01L21/225 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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