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发明名称 ELECTRON BEAM TESTER
摘要
申请公布号 JPH0275143(A) 申请公布日期 1990.03.14
申请号 JP19880226184 申请日期 1988.09.09
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KUJI NORIO
分类号 H01J37/22;H01J37/147;H01J37/28;H01L21/66 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
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