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发明名称 CONNECTION FOR ELECTRIC FIELD'S HOMOGENEITY MEASUREMENT IN SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 CS8807366(A1) 申请公布日期 1990.03.14
申请号 CS19880007366 申请日期 1988.11.09
申请人 ZAMBA JURAJ ING.,CS 发明人 ZAMBA JURAJ ING.,CS
分类号 G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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