| 发明名称 |
METHOD FOR APPLYING RESIST FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0274948(A) |
申请公布日期 |
1990.03.14 |
| 申请号 |
JP19880229301 |
申请日期 |
1988.09.12 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
KAWAI AKIRA;UOTANI SHIGEO |
| 分类号 |
G03F7/09;B05D3/10;G03F7/11;G03F7/16;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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