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发明名称 DRUM FOR CONVEYING SUBSTRATE IN HEAT-TREATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0274661(A) 申请公布日期 1990.03.14
申请号 JP19880226950 申请日期 1988.09.09
申请人 HIRANO TECSEED CO LTD 发明人 MAEKAWA TERUO;ITO MATSUO
分类号 F26B13/30;D06B15/09;D06B23/04 主分类号 F26B13/30
代理机构 代理人
主权项
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