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发明名称 FORMATION OF THIN FILM UTILIZING HIGH-EFFICIENCY SHEET PLASMA
摘要
申请公布号 JPH0273962(A) 申请公布日期 1990.03.13
申请号 JP19880224738 申请日期 1988.09.09
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 TAKAGI SATORU;OYAMA TAKUJI;HARANO TAKESHI;YOSHIKAWA YUKIO
分类号 C23C14/32;C23C16/50 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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