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发明名称
SHEET TYPE VAPOR PHASE REACTOR
摘要
申请公布号
JPH0273976(A)
申请公布日期
1990.03.13
申请号
JP19880225291
申请日期
1988.09.08
申请人
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD
发明人
SAITO YOSHINOBU
分类号
C23C16/46
主分类号
C23C16/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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