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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR RADIATING OF LASER BEAM
摘要
申请公布号 JPH0273623(A) 申请公布日期 1990.03.13
申请号 JP19880225185 申请日期 1988.09.08
申请人 HITACHI LTD 发明人 AOYAMA TAKASHI;KOIKE YOSHIHIKO;KO CHIYUUKOU;OKAJIMA YOSHIAKI
分类号 H01L21/20;H01L21/268 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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