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发明名称 PROBE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0273163(A) 申请公布日期 1990.03.13
申请号 JP19880224590 申请日期 1988.09.09
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 YAMAGATA KAZUMI;HAYASHI KAZUICHI
分类号 G01R1/073;B25J1/02;B25J19/04;G01R1/06;H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
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