SCANNING ELECTRON MICROSCOPE,申请号JP19880222388-传众专利搜索

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发明名称	SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号	JPH0272550(A)	申请公布日期	1990.03.12
申请号	JP19880222388	申请日期	1988.09.07
申请人	HITACHI LTD	发明人	KAGEYAMA KASHIO;YAMADA OSAMU
分类号	H01J37/22;H01J37/244	主分类号	H01J37/22
代理机构		代理人
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