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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0271513(A) 申请公布日期 1990.03.12
申请号 JP19880223060 申请日期 1988.09.06
申请人 TEL SAGAMI LTD 发明人 NAKAO MASARU
分类号 C23C16/44;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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