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发明名称
METHOD FOR DETERMINING MINUTE QUANTITY OF IMPURITY IN SEMI-INSULATING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
JPH0272648(A)
申请公布日期
1990.03.12
申请号
JP19880223534
申请日期
1988.09.08
申请人
SUMITOMO METAL MINING CO LTD
发明人
IINO TAKAYUKI
分类号
G01N21/64;H01L21/66
主分类号
G01N21/64
代理机构
代理人
主权项
地址
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