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发明名称 MOLECULAR BEAN EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPH0272616(A) 申请公布日期 1990.03.12
申请号 JP19880222431 申请日期 1988.09.07
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKADA YOSHIAKI
分类号 H01L21/203 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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