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发明名称 GAS REACTION PROCESSING
摘要
申请公布号 JPH0271516(A) 申请公布日期 1990.03.12
申请号 JP19890138330 申请日期 1989.05.31
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 HAYASHI YUTAKA;KONDO YASUSHI;ISHII KENICHI;KINOSHITA EITA
分类号 C23F4/00;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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