发明名称 THIN FILM SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0272669(A) 申请公布日期 1990.03.12
申请号 JP19880223714 申请日期 1988.09.07
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TAKENAKA SATOSHI
分类号 H01L27/12;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
主权项
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