| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING, INSPECTING AND REPAIRING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0271179(A) |
申请公布日期 |
1990.03.09 |
| 申请号 |
JP19880222315 |
申请日期 |
1988.09.07 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
YASUNAGA MORITOSHI;MASUDA NOBORU;TODOKORO HIDEO;UMEMOTO YASUNARI;TANAKA HIRONORI;ITOU HIROYUKI |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/30;G01R31/302;G01R31/305;G01R31/3185;H01L21/66;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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