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发明名称
STRUCTURE OF TEMPERATURE SENSOR OF PLASMA CVD DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0270067(A)
申请公布日期
1990.03.08
申请号
JP19880221540
申请日期
1988.09.05
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
NOJI TAKAHIRO
分类号
G01K1/14;C23C16/44;C23C16/50;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/31
主分类号
G01K1/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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