发明名称 OPTISCHES SYSTEM FUER GELADENE TEILCHEN MIT VORRICHTUNG ZUR KORREKTUR DER ABERRATION.
摘要
申请公布号 DE3761600(D1) 申请公布日期 1990.03.08
申请号 DE19873761600 申请日期 1987.06.25
申请人 KRATOS ANALYTICAL LTD;VSW SCIENT INSTR LTD 发明人 KING GEORGE CHRISTOPHER;READ, FRANK HENRY
分类号 H01J37/153;H01J3/12;H01J49/06;H01J49/20;H01J49/22;H01J49/48;(IPC1-7):H01J3/12;H01J1/46 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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