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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR ETCHING
摘要
申请公布号 JPH0270076(A) 申请公布日期 1990.03.08
申请号 JP19880219935 申请日期 1988.09.02
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KOYABU KUNIO;WATANABE JUNJI
分类号 C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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