发明名称 METHOD FOR CONTROLLING ETCHING DEPTH
摘要
申请公布号 JPH0270079(A) 申请公布日期 1990.03.08
申请号 JP19880220384 申请日期 1988.09.05
申请人 CANON INC 发明人 KAMITAKAHARA HIROFUMI;KUWABARA TETSUO
分类号 C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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