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经营范围
发明名称
ELECTROSTATIC DEFLECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0268845(A)
申请公布日期
1990.03.08
申请号
JP19880219941
申请日期
1988.09.02
申请人
JEOL LTD
发明人
KOMAGATA TADASHI
分类号
H01J37/147;H01J37/305;H01L21/30
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
地址
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