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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR SAMPLE HOLDERS AND WAFER CAGES FABRICATED FROM SILICON CARBIDE FOR PROCESSING SEMICONDUCTOR MATERIALS
摘要
申请公布号 EP0309272(A3) 申请公布日期 1990.03.07
申请号 EP19880308859 申请日期 1988.09.23
申请人 SOUTHTECH, INC. 发明人 GARDNER, STEVEN J.
分类号 C04B41/87;C04B35/565;C30B31/14;C30B35/00;H01L21/22;H01L21/673;(IPC1-7):C30B31/14 主分类号 C04B41/87
代理机构 代理人
主权项
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