| 发明名称 |
COPOLYMERS WITH 0-NITROCARBINOL ESTER GROUPS, AND PROCESS FOR PREPARING TWO-LAYER RESISTS AND SEMICONDUCTOR DEVICES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0277555(A3) |
申请公布日期 |
1990.03.07 |
| 申请号 |
EP19880100892 |
申请日期 |
1988.01.22 |
| 申请人 |
BASF AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
SCHWALM, REINHOLD, DR.;BINDER, HORST |
| 分类号 |
G03C1/72;C08F20/34;C08F30/08;C08F220/26;C08F220/36;C08F222/22;C08F230/08;G03F7/039;G03F7/095;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):C08F220/36;G03F7/10 |
主分类号 |
G03C1/72 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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