发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH0267767(A) 申请公布日期 1990.03.07
申请号 JP19880218383 申请日期 1988.09.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 MORI MUTSUHIRO;TANAKA TOMOYUKI;SAKURAI NAOKI;YASUDA YASUMICHI;NAKANO YASUKI
分类号 G01R31/26;H01L21/336;H01L21/66;H01L27/04;H01L29/78 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址