发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0267767(A) |
申请公布日期 |
1990.03.07 |
申请号 |
JP19880218383 |
申请日期 |
1988.09.02 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MORI MUTSUHIRO;TANAKA TOMOYUKI;SAKURAI NAOKI;YASUDA YASUMICHI;NAKANO YASUKI |
分类号 |
G01R31/26;H01L21/336;H01L21/66;H01L27/04;H01L29/78 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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