| 发明名称 |
MULTIPLE EXPOSURE PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0267713(A) |
申请公布日期 |
1990.03.07 |
| 申请号 |
JP19880218524 |
申请日期 |
1988.09.02 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
KOBAYASHI MAKIKO;OZAWA KUNITAKA;UDA KOJI;MIZUSAWA NOBUTOSHI;SHIMODA ISAMU;UZAWA SHUNICHI |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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