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发明名称 METHOD FOR FORMING FINE PATTERNS OF CONJUGATED POLYMERS
摘要
申请公布号 EP0261991(A3) 申请公布日期 1990.03.07
申请号 EP19870308574 申请日期 1987.09.28
申请人 SUMITOMO CHEMICAL COMPANY, LIMITED 发明人 TAGUCHI, SATOSHI;TANAKA, TOSHIHIKO
分类号 G03F7/36;G03C1/72;G03F7/00;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/10 主分类号 G03F7/36
代理机构 代理人
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