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发明名称 VERFAHREN ZUM TEMPERIEREN VON OBJEKTEN IN EINER HOCHVAKUUMANLAGE
摘要
申请公布号 DD276759(A1) 申请公布日期 1990.03.07
申请号 DD19880321545 申请日期 1988.11.03
申请人 VEB CARL ZEISS JENA,DD 发明人 KUSCHEL,GEORG,DD;HAHMANN,PETER,DD
分类号 C23C14/54;H01J37/07;H01J37/18;H01L21/324;(IPC1-7):H01J37/18 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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