发明名称 PROCESS FOR MANUFACTURING INTEGRATED CAPACITORS IN MOS TECHNOLOGY
摘要
申请公布号 EP0321860(A3) 申请公布日期 1990.03.07
申请号 EP19880120975 申请日期 1988.12.15
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L. 发明人 RE, DANILO
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/06;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/316;H01L29/92 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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