发明名称 |
PROCESS FOR MANUFACTURING INTEGRATED CAPACITORS IN MOS TECHNOLOGY |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0321860(A3) |
申请公布日期 |
1990.03.07 |
申请号 |
EP19880120975 |
申请日期 |
1988.12.15 |
申请人 |
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L. |
发明人 |
RE, DANILO |
分类号 |
H01L27/04;H01L21/02;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/06;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/316;H01L29/92 |
主分类号 |
H01L27/04 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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