发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0267726(A) 申请公布日期 1990.03.07
申请号 JP19880220120 申请日期 1988.09.01
申请人 NEC CORP 发明人 MOCHIZUKI AKIRA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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