发明名称 应力和温度补偿声表面波器件
摘要 本发明所揭示的是一个旋转Y轴切割、石英SAW器件,该器件具有为补偿应力和温度而选的传播方向γ和角度取向θ。在一个具体的实施例中γ为46.9°和θ为41.8°。
申请公布号 CN1007105B 申请公布日期 1990.03.07
申请号 CN86104444.4 申请日期 1986.06.25
申请人 施卢墨格海外有限公司 发明人 比卡什·辛哈
分类号 H01L41/08;H01L41/18;G01L9/08 主分类号 H01L41/08
代理机构 中国专利代理有限公司 代理人 吴增勇;吴秉芬
主权项 1.一种旋转Y轴切割的石英SAW(声表面波)器件,它包括一石英衬底及其上的至少一传感器,其特征在于它具有约46.9°或46.9°±1°;2°;3°;4°的传播方向γ,和约41.8°或41.8°±1°;2°;3°;4°的角度取向θ。
地址 巴拿马巴拿马城阿基利诺德拉瓜迪路8号