| 发明名称 |
APPARATUS FOR SURFACE ANALYSIS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0284683(A3) |
申请公布日期 |
1990.03.07 |
| 申请号 |
EP19870307673 |
申请日期 |
1987.08.28 |
| 申请人 |
VG INSTRUMENTS GROUP LIMITED |
发明人 |
WAUGH, ALLEN ROBERT |
| 分类号 |
G01Q30/02;G01Q30/16;H01J37/15;H01J37/22;H01J37/252;(IPC1-7):H01J37/252 |
主分类号 |
G01Q30/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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