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发明名称
VENTILATION DEVICE FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FACILITY
摘要
申请公布号
JPH0268437(A)
申请公布日期
1990.03.07
申请号
JP19880219681
申请日期
1988.09.02
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
TABEI KOICHI
分类号
F24F7/007;F24F7/06;H01L21/205
主分类号
F24F7/007
代理机构
代理人
主权项
地址
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