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经营范围
发明名称
INTRINSIC GETTERING METHOD
摘要
申请公布号
JPH0266946(A)
申请公布日期
1990.03.07
申请号
JP19880218764
申请日期
1988.09.01
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
ENOMOTO YOSHINARI
分类号
H01L21/322
主分类号
H01L21/322
代理机构
代理人
主权项
地址
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