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发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0266162(A) 申请公布日期 1990.03.06
申请号 JP19870308427 申请日期 1987.12.04
申请人 RES DEV CORP OF JAPAN;HATTORI SHINTARO;TAKAHAGI TAKAYUKI;ISHITANI KEI 发明人 HATTORI SHINTARO;TAKAHAGI TAKAYUKI;ISHITANI KEI
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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