发明名称 POSITION ADJUSTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0266491(A) 申请公布日期 1990.03.06
申请号 JP19880217880 申请日期 1988.08.31
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NISHIDA SHINICHIRO
分类号 G12B5/00;B66F1/00;G05D3/00;H01L41/083;H01L41/09 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
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