| 发明名称 |
PRODUCTION OF ALUMINUM NITRIDE COATING FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0266178(A) |
申请公布日期 |
1990.03.06 |
| 申请号 |
JP19880217884 |
申请日期 |
1988.08.31 |
| 申请人 |
BRIDGESTONE CORP |
发明人 |
ODAKA FUMIO;KURACHI IKUO;WADA HIROAKI;FUKUYAMA YOSHIKI;WATABE HIROJI |
| 分类号 |
C23C26/00;C01B21/072;C23C8/24;C23C24/08 |
主分类号 |
C23C26/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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