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发明名称
METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPH0266404(A)
申请公布日期
1990.03.06
申请号
JP19880219300
申请日期
1988.08.31
申请人
OMRON TATEISI ELECTRON CO
发明人
MOTOOKA OSAMU;MASAKI TOSHIMICHI;YAMAGUCHI YOSHINORI;KAGAYA TOMOHARU
分类号
G01B11/24;H05K13/08
主分类号
G01B11/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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