| 发明名称 |
Coaxial cavity type, radiofrequency wave, plasma generating apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US4906900(A) |
申请公布日期 |
1990.03.06 |
| 申请号 |
US19890331754 |
申请日期 |
1989.04.03 |
| 申请人 |
BOARD OF TRUSTEES OPERATING MICHIGAN STATE UNIVERSITY |
发明人 |
ASMUSSEN, JES |
| 分类号 |
H01J27/18;C30B23/02;H01J27/16;H01J37/08;H01J37/317;H05H1/46 |
主分类号 |
H01J27/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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