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经营范围
发明名称
FOCUSED ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0266845(A)
申请公布日期
1990.03.06
申请号
JP19880219124
申请日期
1988.08.31
申请人
JEOL LTD
发明人
SAWARAGI HIROSHI
分类号
H01J37/147;H01J37/317
主分类号
H01J37/147
代理机构
代理人
主权项
地址
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