发明名称 FOCUSED ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0266845(A) 申请公布日期 1990.03.06
申请号 JP19880219124 申请日期 1988.08.31
申请人 JEOL LTD 发明人 SAWARAGI HIROSHI
分类号 H01J37/147;H01J37/317 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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