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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0265229(A) 申请公布日期 1990.03.05
申请号 JP19880217920 申请日期 1988.08.31
申请人 NEC CORP 发明人 OGAWA KICHIJI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/288 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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