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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0265142(A) 申请公布日期 1990.03.05
申请号 JP19880214899 申请日期 1988.08.31
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NANBU MASATAKE;TAKEI SHINJI
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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