METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING COMPOSITION OF FILM IN OPPOSITE TARGET SPUTTERING METHOD,申请号JP19880211050-传众专利搜索

发明名称	METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING COMPOSITION OF FILM IN OPPOSITE TARGET SPUTTERING METHOD
摘要
申请公布号	JPH0261057(A)	申请公布日期	1990.03.01
申请号	JP19880211050	申请日期	1988.08.24
申请人	OSAKA SHINKU KIKI SEISAKUSHO:KK	发明人	NAOE MASAHIKO;HIRATA TOYOAKI
分类号	C23C14/14;C23C14/34	主分类号	C23C14/14
代理机构		代理人
主权项
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