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发明名称 VORRICHTUNG ZUM MESSEN VON DURCHSCHLAG-PLASMA
摘要
申请公布号 DE3927027(A1) 申请公布日期 1990.03.01
申请号 DE19893927027 申请日期 1989.08.16
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MATSUI, TETSUYA, HITACHI, JP;KITAMORI, TAKEHIKO, USHIKU, JP;YOKOSE, KENJI, HITACHI, JP;SAKAGAMI, MASAHARU, KATSUTA, JP
分类号 G01N15/10;G01N15/14;G01N21/71;G01N27/06;G01N27/62;G01N27/64 主分类号 G01N15/10
代理机构 代理人
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