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发明名称 SCHALTUNG UND METHODE ZUM STEUERN DER SUBSTRATVORSPANNUNG.
摘要
申请公布号 DE3381162(D1) 申请公布日期 1990.03.01
申请号 DE19833381162 申请日期 1983.12.15
申请人 MOTOROLA, INC., SCHAUMBURG, ILL., US 发明人 HUNTINGTON, C., ROBERT, PHOENIX, AZ 85018, US
分类号 H01L21/822;G05F3/20;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06;H01L27/088;H03K17/10;H03K17/687;H03K19/094;H03K19/0952;(IPC1-7):H03K17/10;H03K17/693 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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