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经营范围
发明名称
ION BEAM PROCESSING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号
EP0200333(B1)
申请公布日期
1990.02.28
申请号
EP19860302043
申请日期
1986.03.19
申请人
MICRION LIMITED PARTNERSHIP
发明人
DOHERTY, JOHN A.;WARD, BILLY W.;SHAVER, DAVID C.
分类号
H01J37/317;H01J37/02;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/302
主分类号
H01J37/317
代理机构
代理人
主权项
地址
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