| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR ABBILDUNG VON DOTIERUNGSSTRUKTUREN IN MIKROELEKTRONISCHEN BAUELEMENTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DD245265(B1) |
申请公布日期 |
1990.02.28 |
| 申请号 |
DD19850285263 |
申请日期 |
1985.12.23 |
| 申请人 |
AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DD |
发明人 |
BLUMTRITT,HORST,DD |
| 分类号 |
G01N23/225;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01N23/225 |
主分类号 |
G01N23/225 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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