发明名称 SELECTABLE-RESOLUTION CHARGED-PARTICLE BEAM ANALYZERS
摘要
申请公布号 GB8929029(D0) 申请公布日期 1990.02.28
申请号 GB19890029029 申请日期 1989.12.22
申请人 VG INSTRUMENTS GROUP LIMITED 发明人
分类号 H01J49/06 主分类号 H01J49/06
代理机构 代理人
主权项
地址