| 发明名称 |
NON-CONTACT TESTING METHOD USING ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0259677(A) |
申请公布日期 |
1990.02.28 |
| 申请号 |
JP19880211420 |
申请日期 |
1988.08.25 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
MIYOSHI MOTOSUKE;OKUMURA KATSUYA |
| 分类号 |
G01R19/00;G01R31/00;G01R31/02;G01R31/302;(IPC1-7):G01R31/00 |
主分类号 |
G01R19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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