发明名称 NEGATIVE PHOTORESISTS OF THE POLYIMIDE TYPE WITH 1,2-DISULPHONES
摘要
申请公布号 EP0333655(A3) 申请公布日期 1990.02.28
申请号 EP19890810176 申请日期 1989.03.08
申请人 CIBA-GEIGY AG 发明人 BARTMANN, EKKEHARD, DR.;KLUG, RUDOLF, DR.;SCHULZ, REINHARD, DR.;HARTNER, HARTMUT, DR.
分类号 C08L79/08;C08G73/10;C08K5/42;G03F7/031;(IPC1-7):G03C1/68 主分类号 C08L79/08
代理机构 代理人
主权项
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